1.芯片廠酸性廢氣概述
芯片廠在生產(chǎn)工藝中使用各種酸液清洗、刻蝕芯片等過程中產(chǎn)生HF、HCl、硫酸霧等酸性氣體。對于芯片廠企業(yè)在生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生的腐蝕性氣體(如酸、堿性廢氣)的治理,目前大多企業(yè)采用液體吸收法治理,采用液體吸收法治理該廢氣,關(guān)鍵在于酸氣處理設(shè)備的選擇。酸性廢氣治理通常采用噴淋塔,通過酸堿中和反應來凈化酸性氣體。
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新聞中心 芯片廠酸堿廢氣處理設(shè)備——噴淋塔
發(fā)布時間:2020-08-27 瀏覽次數(shù):506 返回列表
芯片廠在刻蝕、酸洗等工藝中使用的酸性溶液,容易揮發(fā)形成揮發(fā)性酸氣,在空氣中的酸氣不僅會直接影響人們的健康,流動到大氣中還會隨著降雨等加重水體污染等。今天為大家講解酸氣處理設(shè)備,噴淋塔是如何工作的。
1.芯片廠酸性廢氣概述芯片廠在生產(chǎn)工藝中使用各種酸液清洗、刻蝕芯片等過程中產(chǎn)生HF、HCl、硫酸霧等酸性氣體。對于芯片廠企業(yè)在生產(chǎn)工藝過程中產(chǎn)生的腐蝕性氣體(如酸、堿性廢氣)的治理,目前大多企業(yè)采用液體吸收法治理,采用液體吸收法治理該廢氣,關(guān)鍵在于酸氣處理設(shè)備的選擇。酸性廢氣治理通常采用噴淋塔,通過酸堿中和反應來凈化酸性氣體。 |