在許多先進(jìn)的半導(dǎo)體元件制造中，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是非常很需要的制造技術(shù)?；瘜W(xué)機(jī)械拋光在特定的制造步驟間，讓硅晶圓表面達(dá)到全面的平面化，使更多層電路可以垂直地在元件上制造。PVA海綿具有極佳的親水性能和較好的柔韌性，不易劃傷硅片，且去除顆粒效果好。PVA海綿在半導(dǎo)體制造業(yè)的CMP后清洗中有著重要的應(yīng)用。東安開發(fā)有限公司的專利生產(chǎn)線能生產(chǎn)出具有最優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度和親水性能的PVA海綿。ProCleanTM PVA清潔材料的工作原理：在清潔過程中改變PVA（聚乙烯醇）的分子結(jié)構(gòu)，使基片，PVA，水及清潔介質(zhì)在一定的時(shí)間內(nèi)達(dá)到最佳的反應(yīng)狀態(tài)，從而保證達(dá)到嚴(yán)格的清潔效果。PVA是一種性能極佳的化學(xué)清潔劑的反應(yīng)介質(zhì)，正是它給待清潔的基片提供了最強(qiáng)有力的清潔作用，而進(jìn)行產(chǎn)品表面的擦洗只是輔助PVA對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行清潔。基于ProCleanTM PVA的工作原理，我們可以為客戶設(shè)計(jì)出最適合其生產(chǎn)設(shè)備及生產(chǎn)工藝的PVA清潔產(chǎn)品，ProCleanTM PVA產(chǎn)品規(guī)格齊全。可以用在Amat Amirr Mesa，Lam On-trak,Ebara和SpeedFam-IPEC等CMP機(jī)臺(tái)?？蓭椭蛻糁圃旒夹g(shù)領(lǐng)先的半導(dǎo)體元件，同時(shí)也能滿足客戶提高產(chǎn)量，降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品竟?fàn)幜Φ男枨蟆Ｔ谠S多先進(jìn)的半導(dǎo)體元件制造中，化學(xué)機(jī)械拋光... [詳細(xì)介紹]